スケール化技術サービス

Advanced Energy

AE電源 Ascent 40K(DC) 31520040-001H（バッチ）

の修理

Advanced Energy

AE電源 3152256-202（バッチ）

の修理

Advanced Energy

AE電源 3152533-356F SN：1266458FRF

の修理

Advanced Energy

AE射频電源 RFDS-1250

の修理

Advanced Energy

マッチャー 27-255873-00

の修理

Huttinger

Hottinger 電源 RF3000 G2 SN: 206123550

の修理

Huttinger

電源 SCALO30

の修理

Huttinger

直流電源 TruPlasma DC3030

の修理

Huttinger

直流電源 TruPlasma DC3020

の修理

Huttinger

RF 電源 Truplasma Bias 4018

の修理

Huttinger

ホッティンガー電源 TruPlasma RF1003-（G2 13）

の修理

Kyosan 京三製作所

京三電源 RFK50ZD-SK1

の修理

Kyosan 京三製作所

マッチャー電源 MAK7A-SK1

の修理

Kyosan 京三製作所

電源 RFK150ZD-TE11

の修理

MKS/ENI

発生器 O3 Gen AX8407

の修理

OPTORUN オプトロン株式会社

デジタルガス流量コントローラー OGU-II

の修理

NRF Technologies

RF射频電源 型号：NR10NP4M-01（バッチ）

の修理

DAWONSYS

APプラズマ洗浄機用電源 型式: AP20K-A-S-PV バッチ

の修理

JEOL 日本電子株式会社

電子銃コントローラー JST-3F

の修理

SEREN

セーン電源 HR1001

の修理

AKT

DC電源 XP F8B6D4A3G3

の修理

APP / YSR

APP RF電源 APP-YSR-06MF

の修理

Novellus Systems

CVD チャンバー コントローラー R02-321899-00

の修理

Fanru Technology

プラズママシン PM-G13A

の修理

金相

顕微鏡RS-51M

の修理

超低温水蒸気捕集ポンプ WVCP4200-D-H

の修理

露光ランプ電源 HB-50209AA-1（バッチ）

の修理

分子ポンプ

の修理

新ケルン直流電源の整備

の修理