イオン源電源

Advanced Energy

AE直流電源 61300107 L

の修理

Advanced Energy

AE RF電源 R27-156754-00

の修理

Advanced Energy

AE電源 Ascent 40K (DC) 31520001-000

の修理

Huttinger

RF射频電源 RF 7020

の修理

Huttinger

バイアス電源 Truplasma Bias 3036

の修理

Shincron

イオン源電源SRNP-3

の修理

Shincron

イオン源電源NIP-4

の修理

Shincron

IB電源制御装置NIP-120S-SC

の修理

Shincron

IB電源制御装置NIP-120-2

の修理

Shincron

コントローラOREC-10S

の修理

INFICON

インフィコン水晶膜厚計 IC5-31121（バッチ）

の修理

Kyosan 京三製作所

マッチャー電源MAK5A-SK10

の修理

Kyosan 京三製作所

アダプター電源　MAK7A-SK1

の修理

MKS/ENI

パワーリーダーPDR-CJ1C-BCD

の修理

MKS/ENI

リモートプラズマ電源

の修理

OPTORUN オプトロン株式会社

IB電源アクセラレータ

の修理

NRF Technologies

NRF射频マッチャー NM10S-02

の修理

ADL

ADL 直流電源 GSW（バッチ）

の修理

JEOL 日本電子株式会社

電子銃電源ST-203

の修理

ENJET

プラズマパワーボックス AG-1310

の修理

BOC

電源のメンテナンス

の修理

MAK

MAKコントローラー MPPH-02

の修理

HP

DC 電源装置 6674A

の修理

GENCOA

ガス コントローラー V5.1.1

の修理

Axcelis

PEFコントローラー

の修理

高電圧電源 PCD3i

の修理