靶材电源TruPlasma Arc3200

通快HUTTINGER霍廷格为众多高科技行业提供所需的工艺电源，凭借出色的精度、能效和高工艺稳定性，已成为等离子体高科技应用的市场领导者。所产电源广泛用于太阳能电池、半导体、平板显示、光学镀膜、装饰镀膜、工具镀膜及大面积玻璃镀膜等行业的沉积、刻蚀工艺。电源种类有：等离子体中频电源、等离子体脉冲直流电源、等离子体直流电源、等离子体射频电源。 我司有自行研发的霍廷格全系列成套测试系统，维修后可达到现场使用同等条件，测试3x8个小时负载合格后才按流程出货。直流电源常见故障有：通电无显示、主电源欠压或过压、电源缺相、控制电源异常、过温、通讯丢失、无法启动、输出功率不够、输出电压电流不稳等。中频电源常见故障有：通电无显示、交流断开、无法启动、负载短路、振荡器模块损坏、功率模块故障、输出频率偏低或偏高、输出功率偏低或偏高、输出电流偏低或鍽高、输出电压偏低或偏高、输出不平衡、输出不匹配、过温、CAN总线错误等。射频电源常见故障有：通电无显示、无法启动、过温、系统故障、通讯故障、功率模块故障、反射功率偏高、入射功率偏低、输出功率不稳定、振荡信号异常等。 常修型号： Truplasma MF3020 Truplasma MF3030 Truplasma MF7050 Truplasma MF7100 Truplasma Bias 4018 TruPlasma Bias 4026 Truplasma Bipolar 4015 G2 Truplasma Bipolar 4020 Truplasma Bipolar4020G2.1(2*10kw) Truplasma Bipolar 4030 G2.1 TruPlasma RF 3012 TruPlasma RF 3006 G213 TruPlasma RF7010 TruPlasma DC 3002 TruPlasma DC 3005 TruPlasma DC 3010 TruPlasma DC 3020 TruPlasma DC 3025 TruPlasma DC 3030 TruPlasma Bias 3012 TruPlasmaDC 3002 TruPlasma DC 3005  TruPlasma DC 3010 TruPlasma DC 3020 TruPlasma DC 3025   TruPlasmaDC 3030 TruPlasma DC 3040 TruPlasma DC 3050 TruPlasma DC 3060 TruPlasma DC 3080  TruPlasmaDC 3100  TruPlasma DC 3120 TruPlasma DC 4005 TruPlasma MF 3010 TruPlasma MF 3040 TruPlasma MF 7000TruPlasma RF 7015  TruPlasma RF 7018 TruPlasma RF 7020 TruPlasma RF 7030 TruPlasma RF 7040 TruPlasma RF 7050 TruPlasma RF 1001  TruPlasma RF 1002  TruPlasma RF 1003 TruPlasma Arc 3150 TruPlasma Bias 3003   TruPlasma DC 4008 TruPlasma DC 3050 TruPlasma DC 3060 TruPlasma DC 3040 TruPlasma DC 3080 TruPlasma DC 4010 TruPlasma DC 4015 TruPlasma DC 4016 TruPlasma DC 4020 TruPlasma DC 4040 TruP1asma Arc 3200 PFG 1600 PFG 300 PFG 1000 PFG 5000 PFG 10000DC PFG 2500 PF 1003 TIG30-100 PMP008 ARM20 15C