控制器152E-P0

MKS射频电源提供先进的RF等离子体产生和控制功能，可在最苛刻的薄膜处理应用中以低成本和高成品率提供。非常适合在集成电路，平板显示器和数据存储设备制造过程中用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD），高密度等离子体CVD（HDPCVD），蚀刻和其他薄膜应用。 我司有自行研发的电源各系列测试系统，常修的MKS RPS远程离子体源、射频电源、微波电源型号如下（常见故障有：通电无显示、互锁信号异常、无法启动、启动无输出、反射功率大、输出功率不稳定、过热等）： ASTEX AX7670-18 ASTRONi (3L) AX7640 ASTEXAX7645PS-02ASTRON HFS (15 L) ASTEX ASTRONi 3L AX7670-19 0190-26744 ASTEX ASTRONi 3L AX7670-60 208VAC ASTRONi ASTeX AX7670-30 ASTEX ASTRON e/ex (4-8L)AX7685-36 PN 27-249173-001 ASTEXASTRON e/ex (4-8L) AX7685-33 RPS等离子电源 ASTEXASTRON 2L FI20620-1-C ASTEX ASTRON e/ex (4-8L)AX7685-20 PN 0190-34542W ASTEXAX7690LAM-23 ASTEX ASTRON e/ex (4-8L)AX7685-30 PN 27-406198-00 ASTEX ASTRON2L F120620-1 ASTEXASTRON e/ex AX7685-87G PN 0190-62795W ASTEX ASTRONi 3L AX7671-85 ASTEXASTRONi 3L AX7670-31 ASTEX ASTRON iAX7670-16 P/N 0190-24886 ASTEX ASTRON2LAX7651-2 ASTEX AX8560-1050 ASTEX RPS ASTRON2LAX7657-85 ASTEX FI20160-3 P/N 660-011161-702 3.0KW ASTEX FI20162-1 ASTRONi ASTeX AX7670-30 C13002 P/N 660-080455-635 13KwW SPECTRUM 11002-00 P/N 0190-22201 SPECTRUM B-3013-02 P/N O05541 3000W 维修MKS匹配器（常见故障有：反射功率偏高、无功率输出、输出功率不稳、复位异常、互锁信号异常） MW-10D MW-5D-01B MW-5DM12 MW-25D-05M1 MW-25LD MW-50 MWD-25LD MWD-55LD MWH-5 MW-5D DCG-200E OPTIMA OPT-100E-15042 DCG-100A DCG-75 DCG-75E DCG-100 DCG-100E DCG-100Z DCG-150 DCG-150E DCG-200 DCG-200Z DCG-400 DCG-600 RPG-50 RPG-100 RPG-200 OPT-50 OPT-100 OPT-200 OPT-400 OPT-600 Polara-260A B-10513 SPECTRUM 10513-00 P/N 0190-36638 B-3013 SPECTRUM 3013-083000W Revolution llIl Ax7695PSK-11 RPS MWH-25 MWH-100 MWH-100M MWM-25 PDR-C-1C-BCD PDR-CJ1C-BCD B3013 651D-15413 1022036-001 152d-po-s DOFBC2-075 DOFBC2-083 DOFBC2-084 w2513 M3513 MWD-25LD-02 MWD-25LD-6 MWH-100-01 MWD-MWD-55LD-01 MHW-25-04 MWO 5 MWO 70 MWO 100