射频电源 TS05-Y000-30

ADTEC公司是一家专注于射频等离子体处理设备的制造商，致力于设计、应用、开发等离子体射频产品。制造产品有：RF Plasma Generators射频等离子体发生器、Matching Networks匹配网络、Cold Plasma冷离子、DC Power Supplies直流电源、Bipolar Power Supply双极电源。 我司常修的型号有（电源常见故障有：通电跳闸、通电无显示、互锁信号丢失、散热风扇异常、环境温度异常、冷却水温度异常、结露、内部通讯故障、电源无法启动、反射功率到达极限、入射功率达不到设定值、输入交流电源异常、内部直流电源异常、无振荡信号等）： TX-5000-400 TX10-D000-00-1 TS05-Y000-3B TS10-F004-30 TS05-F004-30 AX-300 AX-300III AX-600III AX-1000 AX-1000Ⅱ AX-1000Ⅲ AX-1000LFⅡ  AX-1000AMⅡ AX-2000 AX-2000III AX-2000EUⅡ AX-3000 AX-3000II AX-3000III AX-4000Ⅱ AX-4000III-40M-U1 AX-7500W AX-10000W-PSK AX-10000W-PSK AX-10000W-AKT TR-3000-E13-MT PlasmaTact 50 PlasmaTact 15 维修的匹配器型号如下（匹配器常见故障有：安全锁信号异常、反射功率偏高、入射功率偏低、输出功率不稳、匹配器无反应、不能自动匹配等）： AM-1315 AMVG-1000-GJ AMVG-10000-RC AMVG-2000-CG AMVG-5000-RL AMVG-5000-RW AMVG-5000-TA-PL AMVG-RCM1-RC AMVG-2000-RT